硅集成電路芯片工廠設(shè)計標準規(guī)范共分八章，主要內(nèi)容為：總則、術(shù)語、工藝設(shè)計、總體設(shè)計、建筑與結(jié)構(gòu)、防微振、冷熱源、給排水及消防、電氣。
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